光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、快速測量方式、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優勢，迅速成為工業測量的熱門傳感器，在生物醫學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到大量應用。本次測量場景使用的是創視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現0.025μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數據傳輸接口。光譜共焦位移傳感器在微機電系統、醫學、材料科學等領域中有著廣泛的應用。高速光譜共焦應用案例

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量。可以使傳感器完成對被測表面的精確掃描，實現納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向對試劑瓶的壁厚進行測量,而且對瓶壁沒有壓力?？赏ㄟ^設計轉向反射鏡實現孔壁的結構檢測及凹槽深度的測盤。（創視智能已推出了90°側向出光版本探頭，可以直接進行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。怎樣選擇光譜共焦使用誤區光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學元件實現的。

隨著精密儀器制造業的發展，人們對于工業生產測量的要求越來越高，希望能夠生產出具有精度高、適應性強、實時無損檢測等特性的位移傳感器，光譜共焦位移傳感器的出現，使問題得到了解決，它是一種非接觸式光電位移傳感器，測量精度可達亞微米級甚至于更高，對背景光，環境光源等雜光的抗干擾能力強，適應性強，且其在體積方面具有小型化的特點，因此應用前景十分大量。光學色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一，鏡頭組性能參數對位移傳感器的測量精度與分辨率起著決定性的作用。

本文通過對比測試方法，考核了基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線，發現兩種方法在模數低于100的功率譜范圍內測量結果一致性較好，但當模數大于100時，白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數據信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數據受多種因素影響，高頻隨機噪聲可達100nm左右。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優勢，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量；

光譜共焦傳感器在數碼相機中的應用包括相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量，并通過檢測相機的微小振動，實現圖像的防抖和抗震功能。同時，光譜共焦傳感器還可用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現對硬盤存儲數據的穩定性和可靠性的實時監控。在硬盤的生產過程中，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。在3C電子行業中，光譜共焦傳感器的應用領域非常廣，可用于各種管控和檢測環節，在實現高精度和高可靠性的測量和檢測方面發揮著重要作用。未來，光譜共焦位移傳感器將繼續發展和完善，成為微納尺度位移測量領域的重要技術手段之一。怎樣選擇光譜共焦使用誤區

線性色散設計的光譜共焦測量技術是一種新型的測量方法；高速光譜共焦應用案例

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器，主要應用于工業生產、科學研究和質量控制等領域。特別是在工業制造中，比如汽車工業的發動機制造領域，氣缸內壁的精度對發動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現非接觸式測量，提供高精度和高分辨率的數據，制造商得以更好地掌握產品質量并提高生產效率。它利用激光共焦成像原理，能夠準確測量金屬內壁表面形貌，包括凹凸、微觀結構和表面粗糙度等參數。這些數據對保證發動機氣缸內壁的精密性和一致性非常重要，從而保障發動機性能和長期可靠性。此外，在科學研究領域，光譜共焦位移傳感器也扮演關鍵角色，幫助研究者進一步了解各種材料的微觀特性和表面形態，推動材料科學、工程技術進步和開發創新應用。高速光譜共焦應用案例