本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源耦合器內,通過卡扣可拆卸設置,用于產生提示光的發光件;發光件也可直接固定在光源耦合器內。發光件為雙色LED燈,也可為其他可見光光源,當探頭操作正常且被測物體在有效測量區域時,由控制系統發出控制信號點亮發光件,發光件發出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續操作。當探頭操作不正常或被測物體不在有效測量區域時,由控制系統發出控制信號點亮發光件,發光件發出紅光,提示使用者操作出現問題,需要更正。發光件發出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。該傳感器適用于光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統中的位移測量。青浦區光譜共焦位移傳感器產品使用誤區
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。根據激光源發射光束的不同,激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內只能獲得被測量的一維信息,使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備,通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。南通光譜共焦位移傳感器調試光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫學、納米技術等多個領域。
發光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設置,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。
本實用新型目的在于針對現有技術所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統的技術方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現了傳感器探頭的小型化,光源發射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內,Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
進一步,光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接; 半透半反光學鏡,半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上,反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發出的反射光,接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步,半透半反光學鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置,上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。成都通信光譜共焦位移傳感器
該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。青浦區光譜共焦位移傳感器產品使用誤區
根據權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面,以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下,所述多個受光區域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中,該區域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區域。青浦區光譜共焦位移傳感器產品使用誤區