隨著科學技術的迅猛發展，具有非接觸、高精度、穩定性好、可自動化及易于與計算機相結合等特點的激光位移檢測技術在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設計與制造等領域得到了廣泛的應用，已將逐漸取代傳統的接觸式檢測技術，成為現代檢測技術很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定，例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統，對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。它抗干擾能力強，能夠在復雜環境下正常工作。珠海激光位移傳感器廠家

針對相關技術中的問題，本發明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測量精度的情況下，降低成像物鏡的設計難度，同時讓測量系統能夠更有效地應對振動、機械變形等不良影響。根據本發明，提供了一種激光位移傳感器。根據本發明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進行調制傳遞函數MTF解析時，解析結果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進一步地，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS＞MTFT×10；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。杭州激光位移傳感器的用途和特點它可以用于測量物體的形狀和輪廓，以提供準確的幾何信息。

在激光位移傳感器中，激光束通過調整音叉透過高速上下移動的物鏡，在受測對象物上聚集為一焦點，同時反射光也會在小孔位置合集為一點，并使受光元件受光，通過測定物鏡的具體的位置，從而準確地測定目標物離參考位置的距離，并不受材質、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測頭的焦點分別為對準和沒有對準對象物時的情況。上位機與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進行通信，串口信號格式為：COMl口、波特率9 600、無奇偶校驗、8位數據位、1位停止位，也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數據。

一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調制傳遞函數MTF解析時，解析結果滿足以下條件：在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件，并且配合微調所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離，使得所述解析結果滿足所述條件。2.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS>MTFT×10。它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設備和系統中。

本實用新型涉及一種檢驗校準裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗校準裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術進行測量的傳感器，它由激光器、激光檢測器、測量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表，能夠非接觸測量被測物體的位移變化，并且測量精度高。在激光位移傳感器的使用過程中，由于設備的磨損老化等原因，導致激光位移傳感器的測量誤差增大，此時需要將激光位移傳感器進行定期的檢驗、校準。目前，對激光位移傳感器的檢驗、校準，主流的做法是測量一個已知的距離(比如：1米、5米、10米等)，通過對比測量的數值與實際的數值來判斷測量的精確度。但是這種方法存在有如下問題：1、檢驗的精度不夠高；2、需要較大的場地。高精度激光位移傳感器還可以用于科學研究和實驗室應用。鎮江激光位移傳感器

激光位移傳感器在半導體行業的應用案例。珠海激光位移傳感器廠家

所述微調裝置2包括一蝸輪蝸桿機構21、一電子測量儀22以及一微調平臺23；所述微調平臺23設于所述電動伸縮雙直線導軌11上端的尾部，所述微調平臺23的末端向上設有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機構21設于所述微調平臺23的前端；所述電子測量儀22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構21。所述蝸輪蝸桿機構21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調節把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測量儀22抵接；所述位移調節把手212與所述蝸輪固接；當旋轉所述位移調節把手212時通過所述蝸輪聯動所述橫向蝸桿211進行橫向位移。珠海激光位移傳感器廠家