多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下，多個受光區域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中，該區域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區域。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。唐山光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

本實用新型解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光；遼寧防水光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優點。

準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置，且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣，使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統，進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單，易于加工裝配和調整，同時實現準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數關系的優點；例如，軸向色散與波長產生三次函數關系，有利于加快后續處理數據的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼，在機殼中固定設置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上，棱鏡組用于對反射光進行色散，在機殼內固定設置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦，位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內；通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產生對應關系；它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。

隨著精密和超精密制造業的迅速發展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結構復雜,成本相對較高;傳統的激光三角法光路容易出現遮擋,導致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。遼寧防水光譜共焦位移傳感器

該傳感器利用光路中的光譜信息實現對位移的測量。唐山光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以向線傳感器的不同受光區域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。唐山光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家