被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優點。遼寧光譜共焦位移傳感器廠家供應
根據權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面,以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下,所述多個受光區域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中,該區域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區域。長春高精度光譜共焦位移傳感器它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。
接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內,所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光;光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接;半透半反光學鏡,所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發出的反射光,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。
6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優勢,可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。
本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座,反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進行反射,使被測物體反射的光線經半透半反光學鏡后轉折90°,到達反光鏡,反光鏡對其轉折90°,使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側,用于多色光的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭,先通過準直鏡組對多色光進行準直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。它可以測量物體微小的位移,精度高達亞微米級別。南充光譜共焦位移傳感器成本價
它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,具有亞微米級的高精度。遼寧光譜共焦位移傳感器廠家供應
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優先采用圓柱形殼體,用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射,而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;遼寧光譜共焦位移傳感器廠家供應