本實用新型解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光；光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。好的光譜共焦位移傳感器市場價格

3.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據權利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準直鏡組設置在多色光光源的一側，用于多色光光源的準直；所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別聚焦，并產生軸向色散。好的光譜共焦位移傳感器市場價格光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優點。

隨著精密和超精密制造業的迅速發展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結構復雜,成本相對較高;傳統的激光三角法光路容易出現遮擋,導致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。

本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座，反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對光線進行反射，使被測物體反射的光線經半透半反光學鏡后轉折90°，到達反光鏡，反光鏡對其轉折90°，使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側，用于多色光的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭，先通過準直鏡組對多色光進行準直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度，各焦點高度按照波長的順序，沿軸向依次排列。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。

分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數量的情況下,利用少量的組件來執行多點測量傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。寶山區光譜共焦位移傳感器制作廠家

它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。好的光譜共焦位移傳感器市場價格

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結果,綠色光G的反射光作為測量光經由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。好的光譜共焦位移傳感器市場價格