1958年，聯邦德國的W.貝克初次提出有適用價值的渦輪分子泵，以后相繼呈現了各種不同構造的分子泵，主要有立式和臥式兩種。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(普通為150～400米/秒)。單個葉輪的緊縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸根本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間堅持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自在旋轉。按軸瓦材料可分為青銅軸承、鑄鐵軸承、塑料軸承、寶石軸承、粉末冶金軸承、自潤滑軸承和含油軸承等。浦東新區整套分子泵軸承設備廠家

40 GB/T12613.7-2011 滑動軸承卷制軸套第7部分：薄壁軸套壁厚測量41 GB/T2688-2012 滑動軸承粉末冶金軸承技術條件42 GB/T28278.1-2012 滑動軸承穩態條件下不帶回油槽流體靜壓徑向滑動軸承第1部分：不帶回油槽油潤滑徑向滑動軸承的計算43 GB/T28279.1-2012 滑動軸承穩態條件下帶回油槽流體靜壓徑向滑動軸承第1部分：帶回油槽油潤滑徑向滑動軸承的計算44 GB/T28279.2-2012 滑動軸承穩態條件下帶回油槽流體靜壓徑向滑動軸承第2部分：帶回油槽油潤滑徑向滑動軸承計算的特性值45 GB/T28278.2-2012 滑動軸承穩態條件下不帶回油槽流體靜壓徑向滑動軸承第2部分：不帶回油槽油潤滑徑向滑動軸承計算的特性值浦東新區整套分子泵軸承設備廠家如鋼材中非金屬雜質含量偏高（鋼材中硫含量的升高使材料自身抗銹蝕性能下降），金相組織偏差等。

分子泵是一種用于真空系統的高效泵，其工作原理是通過分子流動來實現氣體的抽取。分子泵的軸承在其運行中起著至關重要的作用，主要負責支撐轉子并確保其在高速旋轉時的穩定性和精確性。分子泵軸承的類型通常包括：滾動軸承：這種軸承使用滾動體（如球或滾柱）來減少摩擦，適用于低速和中速的應用。滑動軸承：滑動軸承通過軸與軸承之間的滑動接觸來支撐轉子，通常用于高轉速的分子泵中。磁懸浮軸承：這種軸承利用磁力來懸浮轉子，消除了機械接觸，從而減少摩擦和磨損，適用于高真空和超高真空環境。

在潮濕環境下，溫度在75-120℃的條件下，應考慮用鈣-鈉基脂潤滑脂。在潮濕環境下，工作溫度在75℃以下，沒有3號鈣基脂，也可用鋁基脂。工作溫度在110-120℃時，可用鋰基脂或鋇基脂。集中潤滑時，稠度要小些。3、滑動軸承用潤滑脂的潤滑周期：偶然工作，不重要零件：軸轉速<200r/min，潤滑周期5天一次；軸轉速>200r/min，潤滑周期3天一次。間斷工作：軸轉速<200r/min，潤滑周期2天一次；軸轉速>200r/min，潤滑周期1天一次。連續工作，工作溫度小于40℃：軸轉速<200r/min，潤滑周期1天一次；軸轉速>200r/min，潤滑周期每班一次。分子篩泵：利用分子篩材料的選擇性吸附特性來去除特定氣體。

非金屬滑動軸承主要以塑料軸承為主，塑料軸承一般都是采用性能比較好的工程塑料制成；比較專業的廠家一般均具有工程塑料自潤滑改性技術，通過纖維、特種潤滑劑、玻璃珠等等對工程塑料進行自潤滑增強改性使之達到一定的性能，然后再用改性塑料通過注塑加工成自潤滑的塑料軸承。金屬滑動軸承在二十一世紀初使用**多的就是三層復合軸承，這種軸承一般都是以碳鋼板為基板，通過燒結技術在鋼板上先燒結一層球形銅粉，然后再在銅粉層上燒結一層約0.03mm的PTFE潤滑劑；其中中間一層球形銅粉主要作用就是增強鋼板與PTFE之間的結合強度，當然在工作時還起到一定的承載和潤滑作用。離子泵：通過電離氣體分子并利用電場將其引導到電極上，從而實現氣體的去除。浦東新區整套分子泵軸承設備廠家

它們廣泛應用于半導體制造、材料科學、物理實驗、真空鍍膜等領域。浦東新區整套分子泵軸承設備廠家

圖3為一個動葉片的工作示意圖。在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側（圖3a），當氣體分子到達A點附近時，在角度α1內反射的氣體分子回到左側；在角度β1內反射的氣體分子一部分回到左側，另一部分穿過葉片到達右側；在角度γ1內反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側。同理，在葉輪右側（圖3b），當氣體分子入射到B點附近時，在α2角度內反射的氣體分子將返回右側；在β2角度內反射的氣體分子一部分到達左側，另一部分返回右側；在γ2角度內反射的氣體分子穿過葉片到達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片到達右側，比從右側穿過葉片到達左側的幾率大得多。葉輪連續旋轉，氣體分子便不斷地由左側流向右側，從而產生抽氣作用。浦東新區整套分子泵軸承設備廠家

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