潔凈室在半導體制造中的關鍵作用半導體制造對潔凈度的要求堪稱嚴苛，潔凈室是保障芯片良率的設施。在晶圓加工過程中，光刻、蝕刻、薄膜沉積等工序需在ISO1-3級潔凈室中進行，因為空氣中微粒會直接污染晶圓表面，導致電路短路或開路。例如，某12英寸晶圓廠的光刻車間采用ISO1級潔凈室，通過垂直單向流（層流）設計，使空氣以0.45m/s的速度垂直向動，將微粒攜帶至地面回風口；同時，車間內所有設備（如光刻機、涂膠顯影機）均采用密閉設計，避免內部機械運動產生微粒外泄。數據顯示，在普通環境中生產的芯片良率30%，而在ISO1級潔凈室中可提升至85%以上。此外，潔凈室還需控制化學污染物（如氨氣、有機蒸氣），通過活性炭過濾器與化學過濾系統，將關鍵工序區域的化學污染物濃度控制在ppb（十億分之一）級別，防止對晶圓表面造成化學腐蝕。中沃電子潔凈室，助力食品行業安全升級。湖州潔凈室車間

十萬級潔凈室很主要作用在于掌控產品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好環境空間中生產、制造、測試，提升產品質量，是污染敏感產品重要的生產保證設施。十萬級潔凈室主要性能參數：溫度范圍：18℃~28℃，可調節。塵粒允許數（≥5μm）：20000個。濕度范圍：40%~85%，可調節。浮游菌數：≥500個/立方米。換氣次數：≥15次/小時。沉降菌數：≥10個/立方米。新風量：≥30立方/小時/人。檢驗方法：GB50591-2010靜壓差：≥5Pa（不同潔凈等級區域之間）。完美的外觀、合理的設計。靜壓差：≥10Pa(潔凈區域與非潔凈區域之間）。使用的安全及高可靠性。塵粒允許數（≥0.5μm）：3500000個。超靜音。可擴展性無錫潔凈室節能設計方面，采用變頻風機與高效電機，根據實際負荷動態調節送風量，相比定頻系統節電30%以上；。

氣流流型的設計，應符合下列要求:1氣流流型應滿足空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級要求為1～4級時，應采用垂直單向流；空氣潔凈度要求為5級時，應采用垂直單向流或水平單向流。2空氣潔凈度要求為6～9級時，宜采用非單向流。3潔凈室工作區的氣流分布應均勻。4潔凈室工作區的氣流流速應滿足生產工藝要求。5潔凈室的送風量，應取下列三項中的值:1)為保證空氣潔凈度等級的送風量。2)根據熱、濕負荷計算確定的送風量。3)向潔凈室內供給的新鮮空氣量。

高效過濾器風口是最常見的風口類型之一，通常由一個或多個高效過濾器組成，能有效過濾微粒和顆粒物。具有高過濾效率，能滿足潔凈室的潔凈度要求。適用于對空氣質量要求較高的潔凈室環境。調節風口是一種可調節風量和風向的設備，通常由可調節的葉片組成，可以根據需要調整開度和方向。適用于需要根據實際情況調整空氣流動的潔凈室，實現局部風量調節和風向控制。吹掃風口通過高速氣流吹掃潔凈區域，通常采用高速風機和噴嘴，能將顆粒物吹掃走。適用于對潔凈度要求較高的特定區域，如手術室和無菌室。運行優化方面，避免因人工操作失誤導致能耗浪費。

潔凈室的負荷特點和節能一般情況下，凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產設備的發熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調系統節能措施應從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數）；充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設置在上風側，把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外，若必須放在潔凈區內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量所有連接處采用焊接或法蘭密封，避免縫隙藏污。南京gmp潔凈室

天花板采用盲板吊頂系統，由可拆卸的鋁合金盲板與高效過濾器組成，便于維護與更換過濾器。湖州潔凈室車間

千級：千級無塵車間在生產較高質量光學產品的廠家會比較常用，并且在產品檢測、裝配等生產環節中也是適用的。萬級：到萬級無塵車間這一級別的，常見是用以液壓設備以及氣動設備的裝配，或者有較高工藝要求的食品和飲料加工行業也會用到。值得說明的一點是，萬級無塵車間在醫學相關工業生產中也是比較應用普遍。十萬級：很多工業生產中比較常用10萬級無塵潔凈車間，就像生產精度要求極高的生產光學產品、生產較小部件的大型電子系統的制造、制造液壓產品、制造氣動系統、食品生產、飲生產料、醫藥生產行業也會較多的使用這種級別的潔凈室。湖州潔凈室車間