氦質譜檢漏儀常用的檢漏方法：1、噴氦法，這是比較常用的一種方法，一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等)噴氦，如果被檢器件某處有漏孔，當氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質譜室中，氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應。2、吸氦法，吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等，先將容器抽真空，再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量，可以用低濃度氦氣)，在氦質譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管，橡皮管的前端有直徑很小的毛細管，使毛細管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動，如果該容器有漏隙，經漏隙滲出的氦會被毛細管吸入，檢漏儀就會響應。氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。無錫智能氦質譜檢漏儀特點

氦質譜檢漏儀主要技術參數：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動時間：≤5min；響應時間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設計；2.設備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設計；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數據輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz；工作電流：10A。常州臺式氦質譜檢漏儀售后服務氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。

氦質譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。

氦質譜檢漏儀質量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。氦質譜檢漏儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器。

氦質譜檢漏儀的主要性能指標：1、可檢漏率：即氦質譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示才能達到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間：指氦質譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。要注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。使用氦質譜檢漏儀要注意哪些問題？江蘇自動氦質譜檢漏儀技術指導

了解工件的漏孔問題是選擇氦質譜檢漏儀的必要條件。無錫智能氦質譜檢漏儀特點

氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。無錫智能氦質譜檢漏儀特點

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