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寧波妤林氦檢機特點

來源: 發布時間:2022-03-15

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報廢漏率的設置功能,不宜作為批量產品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應選擇無油真空系統的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預抽泵。氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。寧波妤林氦檢機特點

氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監控,特別是在一些真空設備的質量檢驗之中,應用氦質譜檢漏儀已經成為了一種常見的事項。氦質譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設備的檢測準度,所以選擇合適的氦質譜檢漏儀很重要。氦質譜檢漏儀的選擇:1、如果被檢對對象不固定,體積時大時小,靈敏度要求時高時低時,就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定,需要經常搬運氦質譜檢漏儀時,就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎上,還要綜合考慮氦質譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。小型氦檢機原理氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種。

氦質譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進行動態檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數調整到穩定值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時,才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量,能較方便地估計檢漏效果。

氦質譜檢漏儀檢漏原理:當一個帶電質點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中,如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直,則它的運動軌跡為圓。當磁場的磁通密度一定時,不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中,使氦質譜檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來,達到了檢漏的目的。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。

氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質量輕,易于穿過漏孔,進入系統時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。氦檢機廠家推薦

氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做?寧波妤林氦檢機特點

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