氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環境：環境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10A。氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。推車式氦氣檢測設備費用

氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。推車式氦氣檢測設備費用氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。

氦質譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應經常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節流閥”關閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。

氦質譜檢漏儀調氦峰步驟：1、調氦峰方法：開漏孔開關，單方向(從75~165V或從165~75V)調加速電壓“V”，使氦質譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現一個Zda值，然后關漏孔開關，如表頭指示值變小，說明氦質譜檢漏儀接收到氦信號，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說明不是氦峰，則繼續調“V”，直到找到氦峰(出現氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調氦峰信號小：①燈絲沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠。③分辨不好。敏度、反應時間、消除時間、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。推車式氦氣檢測設備費用

氦質譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同。推車式氦氣檢測設備費用

氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應時間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；5、穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；8、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求。推車式氦氣檢測設備費用

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