氦質譜檢漏儀的結構：1、質譜室，形象的說，質譜室是氦質譜檢漏儀的心臟，由離子源，質量分析器和離子檢測器三個部分組成，并將冷陰極磁控規也放在其內，共用其磁場。2、真空系統，真空系統是提供質譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統是必要的。3、電氣系統，氦質譜儀電氣部分的中心是質譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。氦質譜檢漏儀及接線端子不要放置在易遭受碰撞或易進水處。江蘇自動檢漏儀工作原理

檢漏儀分子泵故障如何維修？檢查真空表是不是出現了問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態后，如果燈絲仍不能發射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。蘇州模塊式檢漏儀單位氦質譜檢漏儀安裝時要遠離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵。

關于檢漏儀的一些知識點：儀器的反應時間及清理時間，儀器的反應時間是質譜檢漏儀的主要性能指標之一。檢漏時，當氦氣剛剛噴及漏孔處，即使不考慮氦氣通過漏孔的時間，也不可能立即引起質譜室中氦分奢的急劇變化，也就是說不會立即引起輸出電流的急劇變化，而要有一個過程。假定漏孔漏率為QHe，質譜室處對氦的抽速為SHe，質譜室至被檢容器間的總容積為V，那么在dt的時間內漏入的氦氣量為QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在質譜室中建立起氦分壓pHe（不包括本底）。被抽走的氦量為pHeSHedt，使質譜室容積V內氦壓力升高dpHe時的氦量為VdpHe。因此有等式兩邊除以dt，并經移項整理后得到。

檢漏儀啟動流程：1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低。

氦質譜檢漏儀使用之前需做以下檢查：1、外觀電量檢查：在使用前，應仔細檢查氦質譜檢漏儀外觀是否完好無損壞，檢測儀應開機，看是否能夠正常自檢后進入檢測界面，觀察檢測儀電量是否能夠滿足工作需要。如果電量不足，應立即充電，禁止帶入作業現場。2、使用環境檢查：使用前應檢查氦質譜檢漏儀的銘牌，明確檢測氣體的種類和量程、溫度適用范圍、防爆適用區域等，不同氦質譜檢漏儀都有特定的使用范圍，在超出使用范圍環境下工作，將會對氦質譜檢漏儀造成損傷，嚴重可能會失去檢測功能。檢漏儀真空度不能提高可能是真空計指示不對。泰州模塊式檢漏儀

檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。江蘇自動檢漏儀工作原理

檢漏儀檢漏方法分為兩大類：被檢件承受負(外)壓，即抽成真空的叫真空檢漏；被檢件承受正(內)壓的叫正壓檢漏，也有人叫充壓檢漏。正壓檢漏一般有三種方法：1)吸口法：用吸口直接在漏孔出口處獲得示漏氣體，與正壓校準漏孔作比對定量。這種方法適于漏孔處于吸口可及位置的產品作正壓檢漏。2)氣罩積分法：把被檢件或被檢部位置于氣罩內，罩內為大氣壓。示漏氣體漏人罩內，隨時間積分，再用吸口取樣，輸入檢漏儀檢測，與正壓校準漏孔比對定量。3)加壓真空法：產品充正壓后，置于真空室內，或將漏氣局部置于真空罩內，檢漏儀與真空室(罩)相聯，與真空校準漏孔作比對定量。江蘇自動檢漏儀工作原理

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