檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機械振動引起的效應。檢漏儀檢漏時出現的故障：氦本底太高，檢查機械泵油是否失效，檢查儀器系統是否有漏。臺式檢漏儀注意事項

檢漏儀的本底漏率值是什么？底值是指由所處環境所形成的較穩定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正常空氣環境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小. 正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來。本地高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。寧波智能檢漏機小型便捷的檢漏儀能夠為企業工件設備提供小巧方便的檢測。

檢漏儀的基本原理與結構：檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率，真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產品。

檢漏儀為什么選擇氦氣作為示蹤氣體？1. 氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極少 (在空氣中約含5.2ppm), 在材料出氣中也很少, 因此本底壓力小, 輸出的本底電流也小. 正因為本底小, 由某些原因引起本底的波動, 亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來.靈敏度高.2. 氦的質量小 (相對分子質量為4) , 易于穿過漏孔. 這樣, 氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大, 容易發現, 靈敏度高.3. 氦是惰性氣體, 不與被檢件器壁起化學反應, 不會污染被檢件, 使用安全.4. 在氦兩側的是氫 (質荷比為2) 和雙電荷原子碳 (質荷比為6) , 質荷比都與氦相差較大. 這樣, 它們在分析器中的偏轉半徑相差也大, 容易分開. 定標找氦峰時, 不易受其他離子的干擾, 因此就降低了對分析器制造精度的要求, 易于加工. 同時, 分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大, 使更多的氦離子通過, 提高了儀器靈敏度。檢漏儀真空度不能提高可能是真空計指示不對。

如何正確使用氦氣檢漏儀？ 1.為了正確使用氦氣檢漏設備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進行預抽空。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設備中的氣體不能進入該部分，因此潛在的檢漏孔將只釋放空氣，檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。2.氦氣檢漏設備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細管會被水堵塞或充滿，從而大幅影響檢漏結果。3.在填充檢漏氣體之前，有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測氣體。氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。氣密性檢漏設備單位

氦質譜檢漏儀的泄漏測試后如果泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區域，背景濃度將在整個工作日持續增加。臺式檢漏儀注意事項

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