斜桿放料閥如何滿足高真空工況的密封要求？

舉報

溫州太科閥門科技有限公司2025-09-06

斜桿放料閥采用金屬波紋管密封結構，波紋管材質為Inconel X-750，彈性極限達1000MPa；實測在10??Pa高真空工況下，泄漏率≤1×10?12 Pa·m3/s，滿足半導體設備真空密封標準。

本回答由 溫州太科閥門科技有限公司 提供

溫州太科閥門科技有限公司

簡介：專注于高平臺球閥、斜桿放料閥、薄型高平臺球閥、控制閥，秉持“顧客至上誠信為本”的經營理念，歡迎洽談咨

簡介：專注于高平臺球閥、斜桿放料閥、薄型高平臺球閥、控制閥，秉持“顧客至上誠信為本”的經營理念，歡迎洽談咨

類似問題

企業信息

溫州太科閥門科技有限公司

聯系人：陶芳杰

手機： 15957725072

地址：

浙江省溫州市龍灣區浙江省溫州經濟技術開發區濱海五道696號第7幢401室