工控機如何實現半導體晶圓傳輸的防微振控制？

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杭州研圖智能科技有限公司2025-08-21

主動減震平臺搭載壓電陶瓷促動器，工控機通過振動傳感器反饋生成反相波形。空氣彈簧與電磁阻尼協同工作，將地面振動衰減至0.1μm@10Hz以下。配合ISO Class 3潔凈環境，保障12英寸晶圓傳輸過程粒子附著數＜3顆/片。

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簡介：杭州研圖智能科技有限公司作為國家高新技術企業，專注于工控產品的開發與定制，提供智能化服務和集成方案。

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