杭州研圖智能科技有限公司2025-08-16

半導體級工控機采用無風扇設計（散熱靠機箱整體導熱），避免氣流擾動影響潔凈度（符合ISO Class 3標準）。外殼使用抗靜電不銹鋼，表面電阻控制在10^6-10^9Ω之間。所有接縫處采用氟橡膠密封，防止微粒析出。內部元件經過嚴格outgassing測試，確保不會釋放有機污染物。特殊型號還會集成FFU（風機過濾單元），維持設備周圍局部潔凈環境。軟件方面需滿足SEMI E10標準，實現設備狀態的全生命周期追蹤。

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