具體實施方式現有技術中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現有技術中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業(yè)技術人員能夠實現或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的。專業(yè)配方,博洋剝離液是您的明智之選。惠州BOE蝕刻液剝離液費用是多少
本申請涉及半導體工藝技術領域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術:剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過該制程可以實現兩次光刻合并為一次以達到光罩縮減的目的。現有技術中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會導致剝離液機臺中的過濾器(filter)堵塞,從而導致機臺無法使用,并且需要停止所有剝離液機臺的工作,待將filter清理后再次啟動,降低了生產效率。技術實現要素:本申請實施例提供一種剝離液機臺及其工作方法,可以提高生產效率。本申請實施例提供一種剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在所述管道或所述第二管道上設置有閥門開關。在一些實施例中。江蘇BOE蝕刻液剝離液按需定制哪家公司的剝離液是比較劃算的?
其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者,本發(fā)明涉及印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法,其特征在于,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中,使用上述抗蝕劑的剝離液進行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎。因此,本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下,稱為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定,例如,可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說明的是,鉀鹽中不含相當于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外,本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒有特別限定,例如,推薦,更推薦,特別推薦。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類,例如,可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。
本發(fā)明**技術公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構,所述主支撐架上方設置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機,所述卷邊輥一側安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結構一側安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠對印刷品膠面進行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產成本。AprintedpeelingcompounddeviceforprintingsurfaceprintingTheinventiondisclosesaprintedpeelingstrippingcompounddevice,whichincludesamainsupportframe,alateralbracket,aservomotor,amotordecelerationbox,aprintingbox,【技術實現步驟摘要】一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置本**技術涉及印刷品加工設備領域,本**技術涉及一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置。技術介紹膠面印又稱膠上印。郵票圖案誤印在涂有背膠的一面。在郵票印刷過程中,不慎將郵票**涂膠紙放反而造成。郵票膠面印后。哪家的剝離液配方比較好?
可選擇的,旋涂光刻膠厚度范圍為1000埃~10000埃。s3,執(zhí)行離子注入:可選擇的,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離;如背景技術中所述,經過高劑量或大分子量的源種注入后,會在光刻膠的外層形成一層硬殼即為主要光刻膠層,主要光刻膠層包裹在第二光刻膠層外。使氮氫混合氣體與光刻膠反應生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,反應速率平穩(wěn),等離子體氮氫混合氣體與主要光刻膠層、第二光刻膠層的反應速率相等。等離子體氮氫混合氣體先剝離去除主要光刻膠層,參考圖8所示。再逐步剝離去除第二光刻膠層,參考圖9和圖10所示。可選的,等離子刻蝕氣體是氮氫混合氣體,氫氮混合比例范圍為4:96~30:70。s5,對襯底表面進行清洗。可選擇的,對硅片執(zhí)行單片排序清洗。單片清洗時,清洗液噴淋到硅片正面,單片清洗工藝結束后殘液被回收,下一面硅片清洗時再重新噴淋清洗液,清洗工藝結束后殘液再被回收,如此重復。現有的多片硅片同時放置在一個清洗槽里清洗的批處理清洗工藝,在清洗過程中同批次不同硅片的反應殘余物可能會污染其他硅片,或者上一批次硅片留在清洗槽的反應殘余物可能會污染下一批次硅片。相比而言。剝離液的發(fā)展趨勢如何。池州剝離液銷售廠家
剝離液分為溶劑型和水系兩種類別;惠州BOE蝕刻液剝離液費用是多少
本實用新型涉及光刻膠生產設備,具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術:光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,其是由溶劑、感光樹脂、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,進行光化學反應,經曝光、顯影等過程,將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的襯底上,然后進行蝕刻等工藝加工,終得到所需圖像。其中,溶劑使光刻膠具有流動性,易揮發(fā),對于光刻膠的化學性質幾乎沒有影響。感光樹脂是惰性的聚合物,用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,給予光刻膠其機械和化學性質。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分,對光能發(fā)生光化學反應。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學物質,用來控制和改變光刻膠材料的特定化學性質或響應特性。在光刻工藝中,一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離。在光刻膠剝離工序中會產生剝離廢液,光刻膠價格昂貴,如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,會造成較大的資源浪費,因此企業(yè)通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進行有效回收并應用于再生產中。惠州BOE蝕刻液剝離液費用是多少