推薦的,所述制備裝置主體的兩端緊密貼合有防燙隔膜。推薦的,所述高效攪拌裝置是由內部頂部中間部位的旋轉搖勻轉盤,內部頂部兩側的震蕩彈簧件,震蕩彈簧件頂端的運轉電機組,運轉電機組頂端的控制面板,內部中間部位的致密防腐桿和致密防腐桿內部內側的攪動孔共同組合而成。推薦的,所述注入量精確調配裝置是由鹽酸裝罐內部一側的嵌入引流口,嵌入引流口一端的負壓引流器,負壓引流器一端的注入量控制容器,注入量控制容器內部內側的注入量觀察刻度線和注入量控制容器一側的限流銷共同組合而成。與現有技術相比,本種實用新型的有益效果是:1.通過設置高效攪拌裝置,該裝置通過運轉電機組驅動旋轉搖勻轉盤,使旋轉搖勻轉盤帶動高效攪拌裝置進行旋轉搖勻,高效攪拌裝置內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿,致密防腐桿內部的攪動孔能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。2.通過設置高效攪拌裝置,通過設置注入量精確調配裝置,工作人員通過負壓引流器將鹽酸硝酸引向注入量控制容器內,通過觀察注入量控制容器內的注入量觀察刻度線對注入量進行精確控制,當到達設定的注入量時將限流銷插入進行限流即可。蝕刻液 [博洋化學] 新工藝,實現循環使用!格林達蝕刻液推薦廠家
制備裝置主體1的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤12,高效攪拌裝置2的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運轉電機組13,運轉電機組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內部內側貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內部一側嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負壓引流器21,負壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側嵌入連接有限流銷20。推薦的,翻折觀察板4的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內嵌觀察窗402,該裝置在進行制備時,具有一定的危險性,工作人員無法直接對其內部的運行狀況進行很好的實時查看,通過設置內嵌觀察窗402。廣東市面上哪家蝕刻液訂做價格如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。
近年來,oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示。金屬銀以優異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發明所要解決的技術問題在于如何解決現有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發明通過以下技術手段實現解決上述技術問題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機物、其余為水組成。
silane)系偶聯劑和水,上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外,本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?
上述硅烷系偶聯劑的選擇方法的特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)形態的分子量之后乘以。以下,通過實施例更加詳細地說明本發明。但是,以下的實施例用于更加具體地說明本發明,本發明的范圍并不受以下實施例的限定。實施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量%),制造實施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5,利用實施例和比較例的蝕刻液組合物,對于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯劑%對上述膜處理10,000秒的情況下,可以確認到,aeff值與蝕刻程度(etchingamount,e/a)呈線性相互關系。具體而言,可以判斷,作為硅烷系偶聯劑,包含aeff值處于~14的蝕刻程度(etchingamount,e/a)優異,從而阻止氧化物膜損傷不良和因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良的效果優異。另一方面,可以判斷,作為硅烷系偶聯劑,包含aeff值不處于~11的蝕刻程度不佳,從而發生氧化物膜損傷不良。[表2]例如,參照以下表3,包含雙。蘇州BOE蝕刻液的價格。安徽蝕刻液銷售廠家
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銀蝕刻液主要用于印刷線路板制造,銀器及銀合金的蝕刻、標牌制作。二、突出特點1.蝕刻速度快,效率高。使用方便。蝕刻最高速度可達2000納米/秒。2.可循環使用,無廢液排放。三、理化指標外觀:液體;氣味:微;比重:1.05±0.1;pH:偏堿性四、使用方法1.預處理:如銀或銅合金表面不潔凈,需對表面進行潔凈處理,如除油、除雜等。2.蝕刻:(1).將圖案模板紙粘附于銀板或銀器上,再將銀蝕刻液用噴淋設備噴于圖案處,時間1分鐘到幾十分鐘不定(用戶可根據蝕刻要求自行試驗時間,因模板紙不同,時間也不同),揭去模板紙,用清水沖掉殘物。(2).用100-200T的絲網,75度硬度的聚酯刮膠,將光固化抗蝕刻油墨印刷在基板上,然后將油墨在紫外燈下光照20—30秒鐘,(紫外光能量為1000mj/cm2)。用噴淋的方式進行蝕刻,溫度50±5℃,壓力1-3kg/cm2時間1分鐘到幾分鐘,(具體時間根據蝕刻深度而定)。然后,用1%--3%的氫氧化鈉溶液將光固化抗蝕刻油墨溶解出去。格林達蝕刻液推薦廠家