當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實施說明可知,本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備與現(xiàn)有技術相較之下,本實用新型具有以下優(yōu)點。本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象。如何挑選一款適合公司的蝕刻液?安徽市面上哪家蝕刻液主要作用
以及一設置于基板下方的第二風刀,其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備,其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備,其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備,其中滾輪呈順時針方向轉(zhuǎn)動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備,其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達到上述實施目的,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi)運行;首先,設置一擋液板結構,其中擋液板結構設置有復數(shù)個宣泄孔;接著,使用一設置于擋液板結構下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過一噴灑裝置進行一藥液噴灑;接續(xù),使用一設置于擋液板結構下方的風刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。廣東哪家蝕刻液蝕刻液價格歡迎光臨蘇州博洋化學股份有限公司。
圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統(tǒng)擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風刀裝置41***風刀42第二風刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實施方式首先,請參閱圖2與圖3所示,為本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實用新型的擋液板結構10適用于一濕式蝕刻機(圖式未標示)。
經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會夾帶著泡沫,泡沫中還是含有銅元素,為進一步提高回收效率,需對氣體和泡沫進行分離,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時會吸附在絲網(wǎng)的細絲表面,細絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,使泡沫形成較大的液滴沿細絲流至兩根絲的交點,當液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時,液滴就從細絲上分離下落,氣體在通過絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫。在一個實施例中,如圖1所示,所述分離器設有液位計7、液位開關9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生二次蒸汽,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,通過觀察液位計7來使用液位開關9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定,保證分離器的工作狀態(tài)在設計的狀態(tài)下。在一個實施例中,如圖1所示,所述液位計7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計7,工作人員可以通過觀察液位計7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器,在分離器內(nèi)液面處工作,壓力傳感器8安裝在分離器底部,有效測量分離器內(nèi)液壓。在一個實施例中,如圖1所示。哪家的蝕刻液價格比較低?
近年來,oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示。金屬銀以優(yōu)異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發(fā)明所要解決的技術問題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發(fā)明通過以下技術手段實現(xiàn)解決上述技術問題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質(zhì)量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機物、其余為水組成。銅蝕刻液哪里可以買到;深圳銀蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨
哪家的蝕刻液的價格低?安徽市面上哪家蝕刻液主要作用
蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡合劑的效果,可抑制蝕刻液中產(chǎn)生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸,例如可舉出酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從絡合效果及溶解性的觀點來看,推薦為%至5重量%,更推薦為%至2重量%。另外,蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果,可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,從還原性及臭氣的觀點來看,推薦為%至%,更推薦為%至%。蝕刻液中除了上述的成分以外,也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,例如可舉出表面活性劑、成分穩(wěn)定劑及消泡劑等。蝕刻液可通過使所述各成分溶解于水中而容易地制備。作為所述水,推薦為將離子性物質(zhì)及雜質(zhì)除去的水,例如推薦為離子交換水、純水、超純水等。蝕刻液可在使用時將各成分以成為預定濃度的方式調(diào)配,也可預先制備濃縮液并在即將使用之前稀釋而使用。使用本發(fā)明的蝕刻液的鈦的蝕刻方法并無特別限制,例如可舉出:對含有銅及鈦的對象物涂布或噴霧蝕刻液的方法;將含有銅及鈦的對象物浸漬在蝕刻液中的方法等。處理溫度并無特別限制。安徽市面上哪家蝕刻液主要作用