本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術：以往，在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液，該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過氧化氫、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題，含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩定性的問題。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特許第4471094號說明書。技術實現要素：發明所要解決的問題本發明是鑒于所述實際情況而成，其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法，所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦，而且毒性低，保存穩定性優異。解決問題的技術手段本發明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用，并且含有：選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸；以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。無錫天馬用的蝕刻液蝕刻液產品介紹

一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域，具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術：2.目前，電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜，以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中，對于多晶ito(p-ito)材料，所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低，但其蝕刻速度快，蝕刻的角度難以控制，且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素：3.有鑒于此，為克服目前存在的技術難題，本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地，本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液，所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分：20-22份的鹽酸，6-7份的硝酸，0.5-3份的酸抑制劑，0.5-3份的表面活性劑，以及水；其中，所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種；所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定，以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控，并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35江蘇天馬用的蝕刻液蝕刻液推薦貨源蝕刻液，專業配方，穩定可靠，值得信賴。

本實用新型涉及資源回收再利用領域，特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術：線路板生產工業中，會對已經使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用，在回收過程中，廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱，換熱完的廢液在高溫狀態下進入分離器，會在分離器中發生閃蒸，閃蒸產生的二次蒸汽中，攜帶有大小不等的液滴，現有技術因缺乏有效的分離氣液的手段，含有銅的液體隨著蒸汽被排走，導致了產品發生損失。技術實現要素：基于此，有必要針對現有技術氣液分離率低的問題，提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置，包括分離器及加熱器，所述分離器設有液體入口、蒸汽出口及濾液出口，所述液體入口用于將加熱器產生的液體輸入至分離器中，所述液體入口處設有減壓閥，所述蒸汽出口處設有真空泵、除霧組件及除沫組件，所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體，所述除沫組件用于將經除霧組件除霧的氣體進行除沫。在其中一個實施例中，所述除霧組件為設有多個平行且曲折的通道的折流板。在其中一個實施例中，所述除沫組件為絲網。在其中一個實施例中，所述分離器設有液位計、液位開關、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中。

故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴，而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上，以避免基板20的蝕刻不均的現象產生；此外，該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行，并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作，故該輸送裝置30具有一驅動機構以驅動該滾輪31轉動，以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。步驟三s3：使用一設置于該擋液板結構10下方的風刀裝置40對該基板20吹出一氣體43，以使該基板20干燥；在本實用新型其一較佳實施例中，該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部，該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41，以及一設置于該基板20下方的第二風刀42，其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20，以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向，以使該基板20降低該藥液51殘留，其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3，且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4：該氣體43經由該復數個宣泄孔121宣泄；在本實用新型其一較佳實施例中。BOE蝕刻液專業生產廠家。

本實用新型有關于一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備。背景技術：請參閱圖1所示，為傳統擋液板結構的整體設置示意圖，其中一實心pvc板態樣的擋液板結構a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內，主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結構a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現象，并且在濕式蝕刻的制程步驟中，該基板設置于二風刀b之間，當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結構a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間，該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板表面殘留的蝕刻藥液吹除；然而，當在該等風刀b進行吹氣的狀態下，容易在該擋液板結構a下方形成微小的真空空間而形成渦流并造成真空吸板的問題；因此，如何有效借由創新的硬體設計，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險，仍是濕式蝕刻機等相關產業開發業者與相關研究人員需持續努力克服與解決的課題。BOE蝕刻液的生產廠家。無錫天馬用的蝕刻液蝕刻液產品介紹

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可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯劑本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯劑推薦使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以，更推薦滿足。上述硅烷系偶聯劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount，e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、雙(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)組成的組中的一種以上，更推薦為選自由雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷組成的組中的一種以上，**推薦為(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相對于組合物總重量，上述硅烷系偶聯劑的含量為～10重量％，推薦為～％。無錫天馬用的蝕刻液蝕刻液產品介紹