用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:有少量殘渣4:基本能剝離,但一部分殘渣多5:一半以上能剝離,但一部分殘渣多6:基本不能剝離,但一部分剝離7:不能剝離【表2】由該結果可知,在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發明組成,與使用氫氧化鈉的比較組成相比,即使l/s狹窄,也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理,將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90%以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外,剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條件設為全錐噴嘴且流量5l/min、壓力。將其結果示于表3。(4)金屬的浸蝕性的評價方法利用上述評價方法實施將噴涂運行時間固定在10分鐘的處理。其后,將基板的鍍銅部位通過電子顯微鏡(日立高新技術制:s-3400n)按照以下的評價基準評價表面形狀。其結果也示于表3。<金屬浸蝕性的評價基準>(分數)(內容)1:沒有變化2:極略微有變化(用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:略有變化4:發生***變色【表3】剝離時間(sec)剝離片尺寸。剝離液有怎么進行分類的。安徽銀蝕刻液剝離液供應
本發明采用一種選擇性剝離制備微納結構的新方法,可制備出任意負性光刻膠所能制備的任意圖形且加工效率比傳統的加工方法提高了上萬倍(以直徑為105nm的結構為例),特別是為跨尺度結構的加工,為光學領域,電學領域,聲學領域,生物領域,mem制造,nems制造,集成電路等領域提供了一種新的解決方案。本發明的技術方案如下:一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、對襯底進行修飾降低光刻膠與襯底的粘附力;步驟三、襯底上旋涂光刻膠得到薄膜;步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓;所述所需結構包括若干**單元,**單元外周形成有閉合的縫隙;步驟五、在光刻膠上覆蓋一層黏貼層;步驟六、自所需結構以外的光刻膠的邊沿處揭開黏貼層,黏貼層將所需結構以外的光刻膠粘走,留下所需結構即襯底上留下的微納結構;黏貼層與光刻膠的粘附力a大于光刻膠與襯底的粘附力b。進一步的改進,在供體襯底表面修飾光刻膠抗粘層為高溫氣體修飾法或抽真空氣體修飾法;高溫氣體修飾法包括如下步驟:將襯底和光刻膠抗粘劑置于密閉空間中,其中,密閉空間的溫度控制在60℃-800℃之間,保溫1分鐘以上,直接取出襯底。南通格林達剝離液供應商天馬微電子用的哪家的剝離液?
其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者,本發明涉及印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法,其特征在于,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法中,使用上述抗蝕劑的剝離液進行抗蝕劑的除去。發明效果本發明的抗蝕劑的剝離液即使是微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎。因此,本發明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線板、半導體基板、平板顯示器或引線框的制造方法。具體實施方式本發明的抗蝕劑的剝離液(以下,稱為“本發明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發明剝離液中的鉀鹽沒有特別限定,例如,可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說明的是,鉀鹽中不含相當于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外,本發明剝離液中的鉀鹽的含量沒有特別限定,例如,推薦,更推薦,特別推薦。本發明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類,例如,可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導體集成電路等工藝制造過程中,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進一步用剝離液將涂覆在微電路保護區域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關清洗作業四大階段,其中在去光阻階段會產生部分剝離液。印制電路板生產工藝相當復雜。不僅設備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長,用水量大,而且所用的化學藥品(包括各種添加劑)種類多、用量大。因此,在用減成法生產印刷線路板的過程中,產污環節多,種類繁雜,物料損耗大。可分為干法加工(設計和布線、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內層板黑膜氧化、去孔壁樹脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風整平等)過程。其中在脫模(剝膜)工序為了脫除廢舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩定劑,苯并三氮唑為銅的緩蝕劑進行操作,整個工序中會產生大量的剝離液,有機溶劑成分較大。剝離液可以用在哪些制程段上;
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環料口7,往復3次數后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,利用ph計檢測溶液ph值,當達到5-7范圍內即可,打開二級過濾罐13進料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐13中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。剝離液的組成成分是什么;浙江銅蝕刻液剝離液哪里買
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避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風:良好的通風措施,保持良好通風人員保護設備:橡膠手套、防護目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩定性與活性穩定性:穩定危險反應:有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。安徽銀蝕刻液剝離液供應