利用提升泵將一級過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內;再向攪拌釜中輸入沉淀劑,如酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,打開二級過濾罐進料管路上的電磁閥,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口流出,送往剝離成分處理系統。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。綜上,實現了對光刻膠樹脂的充分的回收利用,回收率得到提高。附圖說明圖1是本實用新型的結構示意圖;圖2是過濾筒的結構示意圖。具體實施方式如圖1、圖2所示,該光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,所述過濾罐的數量為兩個,由一級過濾罐16和二級過濾罐13組成。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級過濾罐16和二級過濾罐13的進料管路15、14分別與攪拌釜10底部連通,且進料管路15、14上分別設有電磁閥18、17。所述一級過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環料口7連通。攪拌釜10頂部另設有廢剝離液投料口5和功能切換口3。龍騰光電用的哪家的剝離液?無錫格林達剝離液私人定做
本實用新型涉及光刻膠生產設備,具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術:光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,其是由溶劑、感光樹脂、光引發劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,進行光化學反應,經曝光、顯影等過程,將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的襯底上,然后進行蝕刻等工藝加工,終得到所需圖像。其中,溶劑使光刻膠具有流動性,易揮發,對于光刻膠的化學性質幾乎沒有影響。感光樹脂是惰性的聚合物,用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,給予光刻膠其機械和化學性質。光引發劑是光刻膠中的光敏成分,對光能發生光化學反應。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學物質,用來控制和改變光刻膠材料的特定化學性質或響應特性。在光刻工藝中,一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離。在光刻膠剝離工序中會產生剝離廢液,光刻膠價格昂貴,如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,會造成較大的資源浪費,因此企業通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進行有效回收并應用于再生產中。無錫京東方用的蝕刻液剝離液主要作用什么樣的剝離液可以保護底部金屬?
采用此方法可以制備出負性光刻膠所能制備的任意結構,同時相比于傳統的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且圖形的結構越大相對的加工效率越高。本發明為微納制造領域,光學領域,電學領域,聲學領域,生物領域,mems制造,nems制造,集成電路等領域提供了一種新的有效的解決方案。附圖說明圖1為本發明制備用電子束在pmma上曝光出圓形陣列的輪廓;圖2為本發明用黏貼層撕走pmma輪廓以外的結構后得到的圓形柱狀陣列;圖3為實施例1步驟三的結構圖;圖4為實施例1步驟四的結構圖;圖5為實施例1步驟五的結構圖;圖6為實施例1步驟六的結構圖。具體實施方式為了使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面將結合附圖對本發明作進一步詳細的描述。實施例1一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、使用十三氟正辛基硅烷利用高溫氣體修飾法對襯底進行修飾;步驟三、利用旋涂的方法在襯底上旋涂光刻膠pmma得到薄膜,如圖3。步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓如圓形,如圖4所示。步驟五、在加工出結構輪廓的薄膜上面覆蓋一層黏貼層,如圖5。步驟六、揭開黏貼層及結構輪廓以外的薄膜,在襯底上留下輪廓內的微納尺度結構。
隨著國內電子制造產業和光電產業的迅速發展,光刻膠剝離液等電子化學品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業,風靡全球的智能手持設備、移動終端等簡直成為了光電行業的風向標:與之相關的光電領域得到了飛速的發展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業的其他領域,雖然也有增長,但是遠不及與智能手持設備相關的光電領域。工業上所使用的剝離液主要是有機胺和極性有機溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質量輕、清晰度高、圖像色彩好等優點,被廣泛應用于工業生產中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計算,未來隨著年代的更替,LCD的生產量液將會增加,從而導致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時也產生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外。平板顯示用剝離液哪里可以買到;
但現有的回收裝置普遍存在如下問題:剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分,回收率低。為了解決這一問題,現有技術通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續反應,而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分,但所得到的光刻膠樹脂成分品質不宜再用于光刻膠原料,只能用于其他要求較低的樹脂需求場所。技術實現要素:本實用新型的目的是為了提供一種結構設置更為合理、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置,從根本上解決現有回收裝置回收率低的問題,同時分級回收輸出線性酚醛樹脂成分,分級儲存,以用于不同場合,物盡其用。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過濾罐,攪拌釜頂部設有廢剝離液投料口,其技術要點是:所述過濾罐的數量為兩個,由一級過濾罐和二級過濾罐組成,所述一級過濾罐和二級過濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方,一級過濾罐和二級過濾罐的進料管路分別與攪拌釜底部連通,且進料管路上分別設有電磁閥,所述一級過濾罐的底部出液口連接有提升泵,所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環料口連通,所述攪拌釜頂部另設有功能切換口。剝離液,讓您的加工過程更加高效。銅陵顯示面板用剝離液哪里買
剝離液可用于去除光刻膠;無錫格林達剝離液私人定做
含有的胺化合物的質量分為:1%-2%。進一步技術方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質量分為:30%-50%;含有胺化合物的質量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質量分為:1%-7%。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一種或多種。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的胺化合物為環胺與鏈胺。進一步技術方案中,所述的環胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的一種或多種;所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的一種或多種。進一步技術方案中,所述的三唑類化合物,具體為苯并三氮唑(bta)、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一種。進一步技術方案中,所述的潤濕劑為含羥基化合物,具體為為聚乙二醇、甘油中的任意一種。無錫格林達剝離液私人定做