針對小批量多品種的研發型生產需求,中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在 30 分鐘內完成不同規格晶圓的換型調整,配合云端工藝數據庫,存儲超過 1000 種標準工藝參數,工程師可快速調用并微調,大幅縮短新產品導入周期,為科研機構與初創企業提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環節直接關系到后續封裝的質量。中清航科將 AI 視覺檢測技術與切割設備深度融合,通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷,檢測精度達 0.5μm,檢測速度提升至每秒 300 個 Die,實現切割與檢測的一體化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪費。8小時連續切割驗證:中清航科設備溫度波動≤±0.5℃。嘉興晶圓切割劃片
隨著 Chiplet 技術的興起,晶圓切割需要更高的位置精度以保證后續的異構集成。中清航科開發的納米級定位切割系統,采用氣浮導軌與光柵尺閉環控制,定位精度達到 ±0.1μm,配合雙頻激光干涉儀進行實時校準,確保切割道位置與設計圖紙的偏差不超過 0.5μm,為 Chiplet 的高精度互聯奠定基礎。中清航科深諳半導體設備的定制化需求,可為客戶提供從工藝驗證到設備交付的全流程服務。其技術團隊會深入了解客戶的晶圓規格、材料特性與產能要求,定制專屬切割方案,如針對特殊異形 Die 的切割路徑優化、大尺寸晶圓的分片切割策略等,已成功為多家頭部半導體企業完成定制化項目交付。江蘇晶圓切割代工廠晶圓切割培訓課程中清航科每月開放,已認證工程師超800名。
中清航科為晶圓切割設備提供全生命周期的服務支持,從設備安裝調試、操作人員培訓、工藝優化指導到設備升級改造,形成完整的服務鏈條。建立客戶服務檔案,定期進行設備巡檢與性能評估,根據客戶的生產需求變化提供定制化的升級方案,確保設備始終保持先進的技術水平。隨著半導體技術向更多新興領域滲透,晶圓切割的應用場景不斷拓展。中清航科積極布局新興市場,開發適用于可穿戴設備芯片、柔性電子、生物芯片等領域的切割設備。例如,針對柔性晶圓的切割,采用低溫冷凍切割技術,解決柔性材料切割時的拉伸變形問題,為新興半導體應用提供可靠的制造保障。
晶圓切割的工藝參數設置需要豐富的經驗積累,中清航科開發的智能工藝推薦系統,基于千萬級切割數據訓練而成。只需輸入晶圓材料、厚度、切割道寬等基本參數,系統就能自動生成比較好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等關鍵參數,新手操作人員也能快速達到工程師的工藝水平,大幅降低技術門檻。半導體產業對設備的占地面積有著嚴格要求,中清航科采用緊湊型設計理念,將晶圓切割設備的占地面積控制在 2 平方米以內,較傳統設備減少 40%。在有限空間內,通過巧妙的結構布局實現全部功能集成,同時預留擴展接口,方便后續根據產能需求增加模塊,滿足不同規模生產車間的布局需求。切割道寬度測量儀中清航科研發,在線檢測精度達0.05μm。
為幫助客戶應對半導體行業的技術人才短缺問題,中清航科推出 “設備 + 培訓” 打包服務。購買設備的客戶可獲得技術培訓名額,培訓內容涵蓋設備操作、工藝調試、故障排除等,培訓結束后頒發認證證書。同時提供在線技術支持平臺,隨時解答客戶在生產中遇到的技術問題。隨著半導體器件向微型化、集成化發展,晶圓切割的精度要求將持續提升。中清航科已啟動亞微米級切割技術的產業化項目,計劃通過引入更高精度的運動控制系統與更短波長的激光源,實現 500nm 以內的切割精度,為量子芯片、生物傳感器等前沿領域的發展提供關鍵制造設備支持。MEMS器件晶圓切割中清航科特殊保護層技術,結構完整率99%。常州sic晶圓切割代工廠
第三代半導體切割中清航科提供全套解決方案,良率95%+。嘉興晶圓切割劃片
為滿足半導體行業的快速交付需求,中清航科建立了高效的設備生產與交付體系。采用柔性化生產模式,標準型號切割設備可實現 7 天內快速發貨,定制化設備交付周期控制在 30 天以內。同時提供門到門安裝調試服務,配備專業技術團隊全程跟進,確保設備快速投產。在晶圓切割的工藝參數優化方面,中清航科引入實驗設計(DOE)方法。通過多因素正交試驗,系統分析激光功率、切割速度、焦點位置等參數對切割質量的影響,建立參數優化模型,可在 20 組實驗內找到比較好工藝組合,較傳統試錯法減少 60% 的實驗次數,加速新工藝開發進程。嘉興晶圓切割劃片