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普發真空推出多氣體兼容檢漏儀 領跑氫能與半導體成熟制程檢測賽
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發布時間：2025-09-19
**突破：雙氣檢測 + 智能適配**多領域痛點“氫能儲氫罐的泄漏檢測不僅要測氦氣，還需兼容氖氣等惰性氣體驗證，傳統單氣體檢漏儀需兩次檢測，而普發新一代設備可一鍵切換雙氣模式，30 分鐘內完成儲氫罐全維度檢測。” 在普發真空中國技術中心的演示現場，產品總監李哲向記者展示了設備對 70MPa 儲氫罐的檢測過程 —— 屏幕實時顯示氦、氖兩種氣體的濃度曲線，泄漏量計算精度達 0.001 Pa?m3/s，完全滿足《氫能儲氫設備安全標準》要求。據普發真空全球研發負責人 Stefan Brandl 介紹，這款檢漏儀的核心競爭力源于兩大創新技術：一是雙通道混合氣體傳感器，采用普發自主研發的 “低溫等離子體檢測技術”，可同時識別氦、氖、氬等多種惰性氣體，較傳統單氣體傳感器適用場景擴大 3 倍，尤其適配氫能儲氫罐 “多氣體驗證” 和半導體刻蝕設備 “多腔室檢漏” 需求；二是AI 自適應檢測系統，內置 200 + 行業檢測模板（覆蓋半導體晶圓、儲氫罐、電池包等場景），設備可通過機器學習自動匹配檢測參數，將環境溫濕度、氣流波動導致的誤判率控制在 0.3% 以下，解決了新能源汽車工廠 “多車型共線檢測、參數頻繁切換” 的痛點。“我們特別針對中國市場做了本土化優化，比如為半導體 28nm 成熟制程定制‘低功耗檢測模式’，設備能耗降低 25%；為氫能重卡儲氫罐設計‘防爆型檢測探頭’，防護等級達 IP67，可適應戶外檢測環境。” 李哲補充道，設備還支持中文操作界面與國產工業軟件對接，方便國內企業實現數據互聯互通。場景落地：從半導體產線到氫能重卡的 “全鏈條覆蓋”在半導體領域，普發新一代檢漏儀已應用于中芯國際上海臨港工廠的 28nm 邏輯芯片產線。“28nm 芯片封裝需同時檢測晶圓鍵合縫與引腳密封處，傳統設備需更換夾具，耗時 20 分鐘 / 片，而普發設備的‘雙模檢測夾具’可一次覆蓋，檢測時間縮短至 8 分鐘 / 片。” 中芯國際封裝測試事業部總監王明表示，該設備的引入使產線日均檢測量提升 150 片，不良率從 0.25% 降至 0.07%，每年節省成本超 1200 萬元。氫能領域的突破同樣***。針對億華通氫能重卡儲氫罐 “高壓、防爆” 的檢測需求，普發定制了 “移動式檢測方案”：設備主體采用防爆外殼，搭配 5 米長柔性檢測探頭，可深入儲氫罐閥門、焊縫等狹小區域，泄漏點定位誤差不超過 0.2mm。“此前我們的儲氫罐檢測合格率約 98.5%，使用普發設備后提升至 99.8%，完全符合氫能重卡的安全運營要求。” 億華通生產負責人張磊透露，該方案已在其張家口、佛山基地批量應用。新能源汽車領域，普發為比亞迪 4680 電池包設計了 “全腔式檢測工裝”，可同時覆蓋電池包殼體、極柱、蓋板三大密封區域，12 分鐘完成一次全檢測。“4680 電池包體積比傳統電池包大 30%，傳統檢測易出現‘盲區’，普發設備的‘360° 環繞式探頭’可消除檢測死角，售后泄漏投訴率從 0.18% 降至 0.04%。” 比亞迪供應鏈質量經理劉偉表示。行業影響：推動多領域標準制定 2024 年中國區訂單增長 72%隨著氫能、半導體成熟制程等領域的快速發展，普發新一代檢漏儀正推動行業檢測標準迭代。據《2024 全球檢漏設備市場報告》顯示，普發真空在全球多氣體檢漏儀市場份額達 35%，其中中國市場占比超 40%，在氫能儲氫設備檢測領域市占率更是高達 52%。截至 2024 年三季度，其 HiPace Leak 系列在中國區訂單量突破 1500 臺，同比增長 72%，增速遠超行業平均水平。“普發的技術創新填補了多氣體兼容檢漏的行業空白。” 中國氫能聯盟**委員會委員趙忠賢指出，目前普發已參與制定《氫能儲氫罐泄漏檢測規范》，其雙氣檢測參數被納入行業推薦標準；在半導體領域，中國半導體行業協會也正聯合普發制定《28nm 成熟制程封裝檢漏指南》，推動檢測流程標準化。對于未來規劃，普發真空中國區總經理王磊表示：“我們將在合肥建設新的研發與生產基地，重點開發針對量子計算設備、固態電池的**檢漏儀，同時實現**部件 90% 國產化，將設備交付周期從 6 周縮短至 2 周，更好地服務國內**制造企業的快速擴產需求。”結語從半導體成熟制程的 “高效檢測” 到氫能重卡的 “安全守護”，普發真空新一代多氣體兼容檢漏儀正以差異化技術重塑精密制造的 “密封檢測邊界”。作為深耕中國市場 20 余年的外資企業，普發的本土化創新不僅為企業帶來效率與成本的雙重優化，更推動中國氫能、半導體等領域的檢測標準與國際接軌，為產業鏈高質量發展注入 “精細檢測動能”。
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