廣東斯柯森氣體檢測設(shè)備有限公司2025-09-09

電子級三氟化氮（半導(dǎo)體蝕刻氣體）儲存庫泄漏時，NF?遇水會分解產(chǎn)生氟化氫，斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式氣體檢測儀可檢測：三氟化氮（0-10ppm，紅外傳感器）、氟化氫（0-5ppm）。設(shè)備采用本質(zhì)安全型設(shè)計（Ex iaⅡC T4），安裝在儲罐安全閥和閥門組附近，支持與惰性氣體吹掃系統(tǒng)聯(lián)動，泄漏超標時立即啟動氮氣吹掃，防止 NF?與空氣反應(yīng)，符合《電子特種氣體安全儲存規(guī)范》，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)用氣體安全。

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